| 溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜研究 |
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| 引用本文： | 陈黄鹂,罗发,周万城,朱冬梅,吴红焕.溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜研究[J].稀有金属材料与工程,2007,36(Z1). |
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| 作者姓名： | 陈黄鹂 罗发 周万城 朱冬梅 吴红焕 |
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| 摘 要： | 研究了用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜的工艺、掺杂及其显微结构.用六水合氯化铝在溶胶中引入Al2O3.掺杂Al的含量为1%,3%,6%和9%.用浸涂法在石英玻璃基片上浸涂ZnAO薄膜,研究了热处理、掺杂对ZAO薄膜相组成和显微结构的影响.X射线衍射结果表明,衍射图谱中无Al2O3的衍射峰.随着掺杂量的变化,ZnO主要衍射峰的位置、晶面间距均发生了有规律的变化,说明Al掺杂进了ZnO晶格中.研究结果表明,溶胶浓度、Al掺杂量、热处理温度都影响薄膜的显微结构.当薄膜厚度较大时,热处理过程中ZnO晶粒呈现明显的择优生长现象.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 Al3 掺杂 ZAO薄膜 |
Study on ZnO:Al (ZAO) Thin Films Prepared by Sol-Gel Process |
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| Chen Huangli,Luo Fa,Zhou Wancheng,Zhu Dongmei,Wu Honghuan.Study on ZnO:Al (ZAO) Thin Films Prepared by Sol-Gel Process[J].Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(Z1). |
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| Authors: | Chen Huangli Luo Fa Zhou Wancheng Zhu Dongmei Wu Honghuan |
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