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阴极电弧离子沉积TiN/Ti镀层腐蚀特性
引用本文:鲜晓斌,王庆富,刘柯钊,刘清和.阴极电弧离子沉积TiN/Ti镀层腐蚀特性[J].稀有金属材料与工程,2005,34(11):1774-1777.
作者姓名:鲜晓斌  王庆富  刘柯钊  刘清和
作者单位:中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900
摘    要:采用电化学线性极化、交流阻抗谱技术研究了不同基片偏压上阴极电弧沉积TiN/Ti镀层在50×10-6g/gCl-溶液中的腐蚀行为,并对镀层腐蚀的机理进行了探讨。结果表明:基片偏压–400V时,镀层耐蚀性能好;镀层表面的针孔是诱发镀层和基材体系发生点蚀、电偶腐蚀的主要缺陷。

关 键 词:基片偏压  TiN/Ti镀层  针孔  腐蚀
文章编号:1002-185X(2005)11-1774-04
收稿时间:2003-12-26
修稿时间:2005-07-20

Corrosion Behavior of the Vacuum Cathodic Arc, Deposited TiN/Ti Coatings
Xian Xiaobin,Wang Qingfu,Liu Kezhao,Liu Qinghe.Corrosion Behavior of the Vacuum Cathodic Arc, Deposited TiN/Ti Coatings[J].Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(11):1774-1777.
Authors:Xian Xiaobin  Wang Qingfu  Liu Kezhao  Liu Qinghe
Abstract:
Keywords:substrates bias voltage  TiN/Ti coatings  surface work function  pinhole  corrosion
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