| Y含量对Cr_xAl_yY_(1-x-y)N镀层热氧化行为的影响 |
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| 引用本文： | 白力静,张 珊,金永中,殷 鹏,王志虎.Y含量对Cr_xAl_yY_(1-x-y)N镀层热氧化行为的影响[J].稀有金属材料与工程,2015,44(4):881-886. |
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| 作者姓名： | 白力静 张 珊 金永中 殷 鹏 王志虎 |
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| 作者单位： | 西安理工大学，陕西 西安 710048 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划 (“973”计划) (2009CB724406)；四川省腐蚀与防护重点实验室开放基金 (2013CL02) |
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| 摘 要： | 利用多靶非平衡磁控溅射离子镀技术制备不同Y含量的CrxAlyY1-x-yN(x=0.88,0.89,0.86,0.83,0.703;y=0.12,0.083,0.077,0.071,0.057,下同)镀层,通过镀层的氧化动力学曲线,结合镀层形貌及相结构的变化,研究Y含量对CrxAlyY1-x-yN镀层热氧化行为的影响。结果表明:适量的Y可提高镀层的热稳定性,相对无Y的Cr0.88Al0.12N镀层,Y含量为3.28at%的Cr0.86Al0.077Y0.063N镀层氧化过程缓慢,动力学曲线变化平缓,900℃时镀层氧化增重量仅为无Y镀层的14%,且表面出现大量氧化物堆积,但没有出现氧化孔洞,断口形貌没有明显分层现象;但Y含量过多时,仅能维持镀层低温阶段的平稳,当温度超过900℃,Y含量为12.88at%的Cr0.703Al0.057Y0.24N镀层则加速氧化,出现线性上升的趋势,镀层严重氧化开裂;适量Y元素的添加,在镀层加热过程中可钉扎晶界,减小氧化过程中内应力的释放,提高了镀层的热氧化性能。而Y含量增多,镀层由固溶态转变为YN相,氧化过程中会阻止亚稳态(γ-,θ-)Al2O3向稳态(α-)Al2O3的转变,从而形成多孔氧化膜,且大尺寸Y2O3在晶界的偏聚,增加O原子扩散通道,加速了镀层的氧化。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 CrxAlyY1-x-yN 氧化 Y |
Influence of Y Contents on the Oxidization Behaviors of CrxAlyY1-x-yN Coatings |
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| Bai Lijing,Zhang Shan,Jin Yongzhong,Yin Peng and Wang Zhihu.Influence of Y Contents on the Oxidization Behaviors of CrxAlyY1-x-yN Coatings[J].Rare Metal Materials and Engineering,2015,44(4):881-886. |
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| Authors: | Bai Lijing Zhang Shan Jin Yongzhong Yin Peng and Wang Zhihu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering CrxAlyY1-x-yN oxidization behaviors Y |
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