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乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为
引用本文:梁广,高文桂,刘伟平,普绍平,闫革新,侯英.乙酰丙酮钯(Ⅱ)的热分解行为[J].稀有金属材料与工程,2006,35(1):150-153.
作者姓名:梁广  高文桂  刘伟平  普绍平  闫革新  侯英
作者单位:1. 昆明贵金属研究所,国家贵金属材料工程研究中心,云南,昆明,650221
2. 云南瑞升科技有限公司,云南,昆明,650106
基金项目:国家科研院所技术开发研究专项基金;云南省科研院所技术开发专项基金
摘    要:采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-Ms)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯Pd(acac)2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气。

关 键 词:化学气相沉积  乙酰丙酮钯  热分解行为
文章编号:1002-185X(2006)01-0150-04
收稿时间:2004-09-13
修稿时间:2005-01-25

Thermal Behavior of Palladium(Ⅱ) Acetylacetonate
Liang Guang,Gao Weigui,Liu Weiping,Pu Shaoping,Yan Gexin,Hou Ying.Thermal Behavior of Palladium(Ⅱ) Acetylacetonate[J].Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(1):150-153.
Authors:Liang Guang  Gao Weigui  Liu Weiping  Pu Shaoping  Yan Gexin  Hou Ying
Abstract:
Keywords:
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