| 乙酰丙酮钯（Ⅱ）的热分解行为 |
| |
| 引用本文： | 梁广,高文桂,刘伟平,普绍平,闫革新,侯英.乙酰丙酮钯（Ⅱ）的热分解行为[J].稀有金属材料与工程,2006,35(1):150-153. |
| |
| 作者姓名： | 梁广 高文桂 刘伟平 普绍平 闫革新 侯英 |
| |
| 作者单位： | 1. 昆明贵金属研究所,国家贵金属材料工程研究中心,云南,昆明,650221
2. 云南瑞升科技有限公司,云南,昆明,650106 |
| |
| 基金项目： | 国家科研院所技术开发研究专项基金;云南省科研院所技术开发专项基金 |
| |
| 摘 要： | 采用热重-差热（TG-DTA）与气-质联用（GC-Ms）研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯Pd（acac）2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物，认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时，空气比氩气更适合做载气。
|
| 关 键 词： | 化学气相沉积 乙酰丙酮钯 热分解行为 |
| 文章编号： | 1002-185X(2006)01-0150-04 |
| 收稿时间： | 2004-09-13 |
| 修稿时间： | 2005-01-25 |
Thermal Behavior of Palladium(Ⅱ) Acetylacetonate |
| |
| Liang Guang,Gao Weigui,Liu Weiping,Pu Shaoping,Yan Gexin,Hou Ying.Thermal Behavior of Palladium(Ⅱ) Acetylacetonate[J].Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(1):150-153. |
| |
| Authors: | Liang Guang Gao Weigui Liu Weiping Pu Shaoping Yan Gexin Hou Ying |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《稀有金属材料与工程》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《稀有金属材料与工程》下载全文 |
|
