| Y掺杂(Ba0.6Sr0.4)0.8TiO3薄膜的结构及介电性能 |
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| 引用本文： | 张高俊,廖家轩,李嶷云,徐从玉,王滨,张宝.Y掺杂(Ba0.6Sr0.4)0.8TiO3薄膜的结构及介电性能[J].稀有金属材料与工程,2013(Z1):87-89. |
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| 作者姓名： | 张高俊 廖家轩 李嶷云 徐从玉 王滨 张宝 |
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| 作者单位： | 电子科技大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51172034);中央高校基本科研业务费专项资金(ZYGX2009X018);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053) |
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| 摘 要： | 通过钇(Y)掺杂、适当增加钛(Ti)含量和调节薄膜厚度等优化设计,用改善的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了光滑致密的Y掺杂多层钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4)0.8TiO3,BST)薄膜,研究了该薄膜的结构及介电性能。X射线衍射(XRD)表明,该薄膜为钙钛矿结构,但其衍射峰强度很弱,主要与Y掺杂和微过量Ti有效减弱其铁电性有关。原子力显微镜(AFM)表明,该薄膜晶化较弱,且随厚度的增加晶化减弱,和XRD结果一致。该薄膜比Y掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜显示更优异的综合介电性能,但与薄膜的厚度有关。随膜厚的增加,薄膜的电容和调谐率减小,但介电损耗大幅减小,其中,4层薄膜零偏压的介电常数为161、电损耗约为0.006,40V的调谐率为45.5%、优质因子大于75,可满足微波调谐器件的需要。
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| 关 键 词： | (Ba0.6Sr0.4)0.8TiO3薄膜 钇掺杂 薄膜厚度 介电性能 |
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