| 乙酰丙酮钯(II)的热分解行为 |
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| 引用本文： | 梁广,高文桂,刘伟平,普绍平,闫革新,侯英.乙酰丙酮钯(II)的热分解行为[J].稀有金属材料与工程,2006,35(1). |
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| 作者姓名： | 梁广 高文桂 刘伟平 普绍平 闫革新 侯英 |
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| 作者单位： | 昆明贵金属研究所国家贵金属材料工程研究中心，昆明贵金属研究所国家贵金属材料工程研究中心，昆明贵金属研究所国家贵金属材料工程研究中心，昆明贵金属研究所国家贵金属材料工程研究中心，昆明贵金属研究所国家贵金属材料工程研究中心，云南瑞升科技有限公司 云南昆明，650221，云南昆明，650221，云南昆明，650221，云南昆明，650221，云南昆明，650221，云南昆明，650106 |
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| 基金项目： | 国家科研院所技术开发研究专项基金(2004EG115047)，云南省科研院所技术开发研究专项基金(2003KFZX-15) |
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| 摘 要： | 采用热重-差热(TG-DTA)与气-质联用(GC-MS)研究了CVD技术制备钯膜材料的前驱体乙酰丙酮钯Pd(acac)2]的热分解行为。通过对比其在空气和氩气两种气氛、不同温度下的热裂解产物,认为在以乙酰丙酮钯为前驱体通过CVD技术制备钯膜时,空气比氩气更适合做载气。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 乙酰丙酮钯 热分解行为 |
Thermal Behavior of Palladium(II) Acetylacetonate |
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| Liang Guang,Gao Weigui,Liu Weiping,Pu Shaoping,Yan Gexin,Hou Ying.Thermal Behavior of Palladium(II) Acetylacetonate[J].Rare Metal Materials and Engineering,2006,35(1). |
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| Authors: | Liang Guang Gao Weigui Liu Weiping Pu Shaoping Yan Gexin Hou Ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CVD palladium(II) acetylacetonate TG-DTA GC-MS thermal decomposition |
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