| 倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 肖秀娣,董国平,余华,范正修,贺洪波,邵建达.倾斜沉积制备雕塑薄膜的研究进展[J].稀有金属材料与工程,2008,37(8). |
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| 作者姓名： | 肖秀娣 董国平 余华 范正修 贺洪波 邵建达 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市青年科技启明星计划 |
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| 摘 要： | 倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术.通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜.雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径.本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的结构特征及影响因素,并阐述了其在光学领域的广泛应用前景.
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| 关 键 词： | 倾斜沉积 雕塑薄膜 各向异性 |
Study Progress on Sculptured Thin Films by Glancing Angle Deposition |
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| Xiao Xiudi,Dong Guoping,Yu Hua,Fan Zhengxiu,He Hongbo,Shao Jianda.Study Progress on Sculptured Thin Films by Glancing Angle Deposition[J].Rare Metal Materials and Engineering,2008,37(8). |
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| Authors: | Xiao Xiudi Dong Guoping Yu Hua Fan Zhengxiu He Hongbo Shao Jianda |
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