美国微机电系统的最新研究成果及其应用(上)

在不久的将来,小型、轻便、廉价的微机电系统(MEMS)将成为军用设备中的普通装置。微机电系统的尺寸小,其特点是把机械或结构元件(如加速度计和微型反射镜)与电子装置(如微处理器和射频发生器)集成到一起,并利用微电子技术进行制造和封装。微机电系统的集成对象还包括流体、光学、电磁和静电系统。这种系统一般采用非常坚硬的晶体硅作材料,这种材料比大多数钢有着更高的断裂极限,而且密度低。