| 影响微冲击片换能元性能的关键因素初探 |
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| 作者姓名： | 尹明 张晶鑫 王可暄 周密 任小明 任西 秦国圣 |
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| 作者单位： | 陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061;陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061;陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061;陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061;陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061;陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061;陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室,陕西 西安,710061 |
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| 基金项目： | 国防科技重点室基金项目 |
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| 摘 要： | 采用MEMS工艺制作了微冲击片换能元,研究了桥箔、飞片、加速膛的微观形貌,并通过测试桥箔电爆性能、飞片速度和微冲击片换能元的发火性能,研究了桥箔厚度、飞片坚膜工艺、加速膛高度等对微换能元的起爆性能影响。研究表明:采用SU-8胶制作飞片、加速膛,并对飞片进行坚膜工艺处理,以及选择3.3μm厚度的桥箔和201μm高度的加速膛,可使微冲击片换能元具有更好的发火性能。
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| 关 键 词： | 微换能元 起爆性能 微冲击片雷管 飞片 加速膛 桥箔 |
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