图形反转剥离工艺用于复合含能点火桥膜的制备 |
| |
引用本文: | 王成玲,叶迎华,沈瑞琪,杨程,余协正,朱莹.图形反转剥离工艺用于复合含能点火桥膜的制备[J].火工品,2012(4):1-5. |
| |
作者姓名: | 王成玲 叶迎华 沈瑞琪 杨程 余协正 朱莹 |
| |
作者单位: | 1. 南京理工大学化工学院,江苏 南京,210094 2. 北京动力机械研究所,北京,100074 |
| |
摘 要: | 为了制备高点火能力的复合含能桥膜,对图形反转剥离工艺进行研究,发现其倒梯形的光刻胶剖面有利于制备高精度的厚膜图形。以Ti为过渡层,在Si3N4/Si基底上成功制备出线宽80μm、厚度2μm的W型Ni/Al多层复合含能桥膜,形状完整清晰;SEM和EDS分析表明,桥膜表面晶粒均匀,成分稳定。采用高速摄影仪分别拍摄了等尺寸、等厚度的Al桥膜、Ni桥膜和Ni/Al复合桥膜在100μF电容(140V充电电压)放电下的无药点火情况,发现Ni/Al复合桥膜反应迅速,火焰喷射面积更大,并能抛撒出大量火花,且持续时间最长。
|
关 键 词: | MEMS 图形反转 剥离 含能桥膜 点火 |
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录! |
|