| 铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的电学性质研究 |
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| 引用本文： | 马瑾 计峰. 铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜的电学性质研究[J]. 太阳能学报, 1995, 16(2): 216-219 |
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| 作者姓名： | 马瑾 计峰 |
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| 作者单位： | 山东大学光电材料与器件研究所 |
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| 摘 要： | 真空蒸发醋酸锌和氯化铝，在加热的玻璃基片上制备出铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了薄膜的结构和电导率随掺杂功率的变化以及真空退火处理对薄膜电导率的影响。
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| 关 键 词： | AZO薄膜 氧化锌 真空蒸发 氯化铝 电导率 |
ELECTRICAL PROPERTIES OF Al-DOPED ZINC OXIDE FILMS PREPARED BY EVAPORATING METHOD |
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| Ma Jin,Ji Fing,Ma Honglei,Li Shuying. ELECTRICAL PROPERTIES OF Al-DOPED ZINC OXIDE FILMS PREPARED BY EVAPORATING METHOD[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 1995, 16(2): 216-219 |
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| Authors: | Ma Jin Ji Fing Ma Honglei Li Shuying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZO film. vacuum evaporation. aluminium chloride.electrical conductivity |
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