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蒸发制备ZnO薄膜的结构及光学电学特性的研究
引用本文:马瑾 计峰. 蒸发制备ZnO薄膜的结构及光学电学特性的研究[J]. 太阳能学报, 1995, 16(2): 181-184
作者姓名:马瑾 计峰
作者单位:山东大学光电材料与器件研究所
摘    要:以乙酸锌作为蒸发物质,采用真空蒸发技术,在加热的玻璃衬底上制备出高捏的ZnO透明导电薄膜,并对其结构,光学和电学特性进行了研究。

关 键 词:氧化锌薄膜 透过率 电导率

STRUCTURE AND OPTOELECTRONIC PROPERTIES OF ZnO FILMS PREPARED BY EVAPORATING METHOD
Ma Jin,Ji Feng,Ma Honglei,Li Shuying. STRUCTURE AND OPTOELECTRONIC PROPERTIES OF ZnO FILMS PREPARED BY EVAPORATING METHOD[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 1995, 16(2): 181-184
Authors:Ma Jin  Ji Feng  Ma Honglei  Li Shuying
Abstract:
Keywords:ZnO film. transmission. electrical conductivity.  
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