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阳极氧化法测量硅太阳能电池结深及杂质浓度分布
引用本文:鞠定德,汪玉川.阳极氧化法测量硅太阳能电池结深及杂质浓度分布[J].新能源,1996,18(9):17-19.
作者姓名:鞠定德  汪玉川
作者单位:[1]云南师范大学太阳能研究所 [2]云南半导体器件厂
摘    要:报道了用四探针法及阳极氧化法测试云南半导体器件帮生产的φ(100)绒面硅太阳能电池扩散层薄层电阻(Rs)及结深(X1)的情况,从中可检测适合于硅太阳能电池p-n结需要的Rs和x1对提高太阳能电池产品质量有较重要的指导作用。

关 键 词:硅太阳能电池  阳极氧化  杂质分布
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