阳极氧化法测量硅太阳能电池结深及杂质浓度分布 |
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引用本文: | 鞠定德,汪玉川.阳极氧化法测量硅太阳能电池结深及杂质浓度分布[J].新能源,1996,18(9):17-19. |
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作者姓名: | 鞠定德 汪玉川 |
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作者单位: | [1]云南师范大学太阳能研究所 [2]云南半导体器件厂 |
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摘 要: | 报道了用四探针法及阳极氧化法测试云南半导体器件帮生产的φ(100)绒面硅太阳能电池扩散层薄层电阻(Rs)及结深(X1)的情况,从中可检测适合于硅太阳能电池p-n结需要的Rs和x1对提高太阳能电池产品质量有较重要的指导作用。
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关 键 词: | 硅太阳能电池 阳极氧化 杂质分布 |
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