化学气相沉积制备多壁碳纳米管反应器内流场的数值模拟

建立制备多壁碳纳米管CVD反应器的二维几何模型,将参与反应物的材料参数拟合为随温度变化的非线性多项式方程,采用计算流体力学软件对反应器内部的温度场及速度场进行模拟研究。研究结果表明:反应器内温度场及速度场分布并不均匀,在反应器中部温度较为均匀温度基本维持在1 100 K左右,这样有助于多壁碳纳米管的合成,同时对于速度场的研究发现合理的控制气体进口速度有助于碳纳米管在均匀流场中稳定生长。