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| 石英敏感元件的非传统加工技术研究进展 | |
| 引用本文： | 张广玉,杨乐民.石英敏感元件的非传统加工技术研究进展[J].中国建材科技,2000(3):24-27. |
| 作者姓名： | 张广玉 杨乐民 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 摘 要： | 本文以石英摆片为例，具体介绍了石英摆片加工的各种成形工艺；给出了各种加工方法的关系参加参数；同时了这些工艺方法的优缺点；对不同加工工艺的加工质量进行了比较和分析。并展望了石英玻璃非传统加工技术的发展前景。 |
| 关 键 词： | 石英摆片 石英玻璃 化学加工 激光切割 |
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