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| 团簇沉积C-N薄膜的研究 | |
| 引用本文： | 陈景升,俞国庆,张志滨,潘浩昌,朱德彰,徐洪杰,郑志豪,阎逢元.团簇沉积C-N薄膜的研究[J].核技术,2001,24(6):433-438. |
| 作者姓名： | 陈景升 俞国庆 张志滨 潘浩昌 朱德彰 徐洪杰 郑志豪 阎逢元 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海原子核研究所 2. 华东师范大学物理系 3. 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金! (19735 0 0 4)、(196 75 0 6 2 ) |
| 摘 要： | 利用荷能团族沉积装置在高阻硅（111）衬底上沉积了碳氮薄膜。通过红外光谱、拉曼谱和X光电子能谱对薄膜的结构和化学组分进行了分析。结果表明，薄膜中存在N－sp^3(β－C3N4的键合方式），但以N－^2C和C＝C双键的结合方式为主。 |
| 关 键 词： | 团族沉积 碳氮薄膜 结构 制备 表征 硅基底 硬度 光谱 |
| 修稿时间： | 1999年6月10日 |
Investigation of C-N film by cluster beam deposition |
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| CHEN Jingsheng,Yu Guoqing,ZHANG Zhibin,PAN Haochang,ZHU Dezhang,Xu Hongjie,ZHENG Zhihao,Yan Fengyuan.Investigation of C-N film by cluster beam deposition[J].Nuclear Techniques,2001,24(6):433-438. | |
| Authors: | CHEN Jingsheng Yu Guoqing ZHANG Zhibin PAN Haochang ZHU Dezhang Xu Hongjie ZHENG Zhihao Yan Fengyuan |
| Abstract: | C-N films were synthesized on high-resistance Si(111) substrates by cluster beam deposition method. Transmission infrared spectroscopy, Raman spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy were used to characterize the structure of the films. IR, Raman and XPS results indicated that there existed some amount of N-sp 3C bonds, but N-sp 2C and CC bonds were predominant in the films. |
| Keywords: | Cluster deposition C-N film Structure |
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