| 过滤管道磁场在改进真空弧沉积系统中的作用 |
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| 引用本文： | 王广甫,张荟星.过滤管道磁场在改进真空弧沉积系统中的作用[J].原子能科学技术,2001,35(3):229-233. |
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| 作者姓名： | 王广甫 张荟星 |
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| 作者单位： | 1. 北京师范大学分析测试中心;北京师范大学低能核物理研究所,
2. 北京师范大学低能核物理研究所, |
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| 基金项目： | 国家"八六三”计划资助项目(863-715-008-0040) |
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| 摘 要： | 在90°磁过滤管道和MEVVA源阴极之间加30～60V的正偏压可使磁过滤管道起到阴极弧放电第二阳极的作用.在此情况下,就磁过滤管道磁场对MEVVA源阳极-阴极和磁过滤管道-阴极两个回路弧放电和磁过滤管道等离子体传输效率的影响进行了实验研究.研究结果表明随磁过滤磁场升高,磁过滤管道和阴极之间的弧放电规模降低,系统的等离子体传输效率升高,但对MEVVA源阳极和阴极之间的弧放电规模影响不大.
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| 关 键 词： | 阴极真空弧放电 磁过滤管道 第二阳极作用 薄膜 磁过滤管道磁场 制备 真空弧沉积系统 |
| 文章编号： | 1000-6931(2001)03-0229-05 |
| 修稿时间： | 2000年1月10日 |
Effects of the Filtering Duct Magnetic Field in a Modified Vacuum Arc Deposition Apparatus |
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| WANG Guang fu ,ZHANG Hui xing.Effects of the Filtering Duct Magnetic Field in a Modified Vacuum Arc Deposition Apparatus[J].Atomic Energy Science and Technology,2001,35(3):229-233. |
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| Authors: | WANG Guang fu ZHANG Hui xing |
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| Affiliation: | WANG Guang fu 1,2,ZHANG Hui xing 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | cathodic vacuum arc discharge magnetic filtering duct second anode action filtering duct magnetic field |
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