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| 碳膜制备和厚度测量的研究 | |
| 引用本文： | 许国基,关守仁,罗兴华,孟祥金.碳膜制备和厚度测量的研究[J].中国核科技报告,1988(Z2). |
| 作者姓名： | 许国基 关守仁 罗兴华 孟祥金 |
| 作者单位： | 中国原子能科学研究院 北京 (许国基，关守仁，罗兴华)，中国原子能科学研究院 北京(孟祥金) |
| 摘 要： | 本文系统地介绍了碳膜的制备技术及其厚度测量方法。碳膜制备技术有碳弧法、电阻加热法、电子轰击法、离心沉淀法和裂解乙烯法。碳膜厚度测量方法包括称重法、背散射法、等效空气法和吸光光度法。 |
| 关 键 词： | 碳弧 电子轰击 裂解 |
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