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TOMAS—用于研究未来聚变装置壁处理的环形磁化等离子体装置
引用本文:H.B.Stoerk 斯红.TOMAS—用于研究未来聚变装置壁处理的环形磁化等离子体装置[J].国外核聚变,2002(5):47-52.
作者姓名:H.B.Stoerk  斯红
摘    要:环形磁化系统(TOMAS)是一个简单的磁化环,它用微波产生的等离子体来研究壁处理方法。在TOMAS装置中,电子回旋共振等离子体是用频率为2.45GHz的微波和相应的共振磁场为87.6mT产生的。本文描述该装置和用甲烷等离子体膜沉积的第一次运行经验。

关 键 词:ECR等离子体  壁处理  聚变装置  微波  TOMAS  甲烷等离子体膜沉积  环形磁化等离子体装置
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