| 基片偏压对模具钢表面镀TiAlN薄膜的微观组织和性能的影响 |
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| 引用本文： | 李威辰,覃群,吴明娟,李海洋,周兴成.基片偏压对模具钢表面镀TiAlN薄膜的微观组织和性能的影响[J].科技创新与应用,2020(4). |
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| 作者姓名： | 李威辰 覃群 吴明娟 李海洋 周兴成 |
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| 作者单位： | 湖北汽车工业学院 材料科学与工程学院,湖北 十堰 442002;湖北汽车工业学院 材料科学与工程学院,湖北 十堰 442002;湖北汽车工业学院 材料科学与工程学院,湖北 十堰 442002;湖北汽车工业学院 材料科学与工程学院,湖北 十堰 442002;湖北汽车工业学院 材料科学与工程学院,湖北 十堰 442002 |
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| 基金项目： | 湖北省教育厅科学技术研究计划青年人才项目;湖北汽车工业学院大学生创新训练项目 |
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| 摘 要： | 文章研究了基片偏压对TiAlN涂层的微观组织和性能的影响。研究结果表明:基片偏压150V时,薄膜表面形貌晶粒分布均匀,致密性好。随着负偏压增加,TiAlN薄膜的显微硬度值先增大后减小,薄膜显微硬度偏压增加150V时达到最大值3184.2HV;随着负偏压增大,TiAlN薄膜的膜基结合力先增大后减小,当基体负偏压上升到150V时,膜基结合力达到最大为31.9N。
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 TiAlN涂层 模具钢 |
Effect of Substrate Bias on Microstructure and Properties of Ti Al N Film on the Surface of Die Steel |
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