|
|||||
|
|
| 纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展 | |
| 引用本文： | 钟锐涛.纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展[J].科技创新与应用,2020(18). |
| 作者姓名： | 钟锐涛 |
| 作者单位： | 合肥工业大学,安徽 合肥 230000 |
| 摘 要： | 长期以来,半导体硅材料对信息产业发展起到了决定性的作用。当前纳米集成电路发展起来,使用硅基材料,器件功耗有所降低,运行速度提升,各种负面影响减少。文章着重于探讨纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展。 |
| 关 键 词： | 纳米集成电路 大直径硅 硅基材料 研究进展 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |