一种高频高压等离子体发生器 |
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引用本文: | 伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超,周长伟,江均均,吴迪.一种高频高压等离子体发生器[J].科技创新与应用,2019(12). |
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作者姓名: | 伍远博 陶智 黄敏 顾中浩 徐超 周长伟 江均均 吴迪 |
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作者单位: | 苏州大学光电科学与工程学院 |
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摘 要: | 针对传统直流等离子体发生器电源效率不高、驱动管热损耗大等问题,设计了一个高效率低损耗的高频高压等离子体发生器。该系统通过移相全桥控制电路进行PWM方波控制,在功率晶体管驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现等离子体的稳定发生。实验结果表明,该系统与传统直流等离子体发生器相比电源效率提升了5.4%。
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关 键 词: | 等离子体发生 全桥移相 高频谐振 |
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