中阶梯光栅效率检测控制系统实现

为实现中阶梯光栅衍射效率以及杂散光系数的检测,设计了中阶梯光栅效率检测控制系统。采用模糊PID控制算法控制三路步进电机以实现光栅转台的三自由度旋转,采用细分驱动技术驱动直线电动位移台实现光斑的精确采集。仿真与实验结果表明:精准地采集了衍射光斑与杂散光,而且在低频运行下减小步进电机的转矩脉动与转速波动,减小了光栅转台的机械振动,增加了定位精度且中阶梯光栅的衍射效率误差在1%以内,杂散光系数的重复性误差在10%以内。