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| 金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能 | |
| 引用本文： | 彭定坤,黄磊,孟广耀.金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能[J].郑州轻工业学院学报(自然科学版),2000,15(4):10. |
| 作者姓名： | 彭定坤 黄磊 孟广耀 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学,材料科学与工程系,安徽,合肥,230026 |
| 摘 要： | 以金属钯和镍的乙酰丙酮螯合物为混合源，采用金属有机化合物化学气相淀积法在多孔氧化铝陶瓷衬底上生长Pd-Ni合金膜.X射线光电子能谱测定表明膜的组成十分接近混合源内的Pd，Ni物质的量比.应用扫描电镜和原子力显微镜观察膜层形貌，发现多孔衬底对膜层形貌影响极大，从而影响对氢气的敏感性能.在大孔α-Ａl2O3(孔径为0.2μm)衬底上生长的Pd-Ni淀积膜呈现多孔不连续形貌，由此制作的氢敏感元件具有很高的氢灵敏性，显著高于电子束蒸发制备的Pa膜的氢灵敏度.相反，在微孔γ-Ａl2O3衬底(孔径为4 nm )上生长的Pd-Ni薄膜表面均匀，具有金属… |
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