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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
范德华力对微悬臂梁动力模型及分岔的影响
作者姓名:
唐黎明
谢进
谢蛟
任必春
作者单位:
西南交通大学机械工程学院;
基金项目:
国家自然科学基金资助项目(51175437)
摘 要:
微悬臂梁结构是微机电系统(MEMS)中广泛应用的一种结构型式。在其动力学分析模型中,除了考虑非线性静电力、参数激励和压膜阻尼的影响,还加入了范德华力。通过改变影响范德华力的参数,分析了范德华力对系统的吸合电压、稳定运动状态以及分岔的影响,得出了范德华力对系统动力响应影响的变化规律,为对该系统的运动控制奠定了基础。
关 键 词:
微悬臂梁
范德华力
吸合电压
分岔
动力响应
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