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磷锗锌晶体脆塑转变临界切削深度的研究
引用本文:曹中浩,阳红.磷锗锌晶体脆塑转变临界切削深度的研究[J].机械科学与技术(西安),2021,40(6):908-911.
作者姓名:曹中浩  阳红
作者单位:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳 621900
摘    要:为实现磷锗锌(ZnGeP2)晶体超精密切削,提高表面加工质量,获得纳米级的超光滑表面,基于纳米压痕实验计算出磷锗锌晶体表面脆塑转变临界深度.在此深度内切削材料产生脆塑转变,并以塑性方式去除.在此基础上,采用单点金刚石飞切机床DFC600A开展磷锗锌晶体超精密切削.通过控制切削深度低于磷锗锌晶体脆塑转变临界深度,使材料表面仅发生塑性变形,实现了晶体表面纳米级光滑表面加工,表面粗糙度达1.01 nm,达到了对磷锗锌晶体表面的加工要求,验证了方法的有效性.

关 键 词:磷锗锌晶体  纳米压痕实验  临界深度  超精密切削

Study on Critical Cutting Depth of Brittle-plastic Transition of ZnGeP2 Crystal
CAO Zhonghao,YANG Hong.Study on Critical Cutting Depth of Brittle-plastic Transition of ZnGeP2 Crystal[J].Mechanical Science and Technology,2021,40(6):908-911.
Authors:CAO Zhonghao  YANG Hong
Abstract:
Keywords:
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