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真空溅射镀膜机继电器-接触器控制系统的设计与研究
引用本文:宋强,刘进志,刘建斌.真空溅射镀膜机继电器-接触器控制系统的设计与研究[J].现代机械,2007(1):60-62.
作者姓名:宋强  刘进志  刘建斌
作者单位:1. 石家庄铁道学院,教务处,河北,石家庄,050043
2. 石家庄铁道学院,机械工程分院,河北,石家庄,050043
3. 石家庄铁道学院,党委办公室,河北,石家庄,050043
摘    要:真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。本文针对真空溅射镀膜机采用继电器-接触器的控制系统进行了设计与研究,对控制系统的工艺流程、要求、及控制过程进行了详细的分析和论述。本文对同类产品的设计与开发具有一定的指导作用,同时对一般的工业生产也具有较高的实用价值。

关 键 词:继电器-接触器  控制系统  镀膜机
文章编号:1002-6886(2007)01-0060-03
修稿时间:2006-12-01

Design And Research of the Relay-contact Control System in The Vacuum Sputtering Coater
SONG Qiang,LIU Jin-zhi,LIU Jian-bin.Design And Research of the Relay-contact Control System in The Vacuum Sputtering Coater[J].Modern Machinery,2007(1):60-62.
Authors:SONG Qiang  LIU Jin-zhi  LIU Jian-bin
Abstract:The technology and equipment of the vacuum sputtering coating have the extremely broad application and the development in the future.In this paper,the relay-contact device of control system of the vacuum sputtering coater is designed and researched,the technical process,the request,and the controlled process of the control system is analyzed and researched comprehensively.This article has certain instruction to the design and the development of similar product,at the same time,it also has a higher practical value to the general industrial production.
Keywords:relay-contact  control system  coater  
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