| 基于MEMS机构装配的微夹持器研究 |
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| 引用本文： | 郝永平,董福禄,张嘉易,包丽雅.基于MEMS机构装配的微夹持器研究[J].中国机械工程,2014(5). |
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| 作者姓名： | 郝永平 董福禄 张嘉易 包丽雅 |
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| 作者单位： | 沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室;中国空空导弹研究院; |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z167);辽宁省自然科学基金资助项目(201102182) |
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| 摘 要： | 微夹持器作为末端执行装置,直接决定了微装配的效率。MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件,为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配,设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构。对该微夹持器的节点应力、刚度及最大张合量等进行了分析计算,并对微夹持器进行了试制。实验与分析结果表明,该夹持器最大张合量是245μm,放大倍数约为12.3倍,满足MEMS机构的装配要求。在此基础上,重点对张合量与夹持力进行了系统测试,通过对测试数据的非线性回归,推导出99.99%可靠度的驱动电压计算公式,实现了微夹持的精确控制。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微装配 微夹持器 压电陶瓷 柔性铰链 非线性回归 |
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