| SDB技术在MEMS加速度计中的应用 |
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| 引用本文： | 吕树海,罗蓉,杨拥军,吕苗.SDB技术在MEMS加速度计中的应用[J].中国机械工程,2005,16(Z1):434-436. |
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| 作者姓名： | 吕树海 罗蓉 杨拥军 吕苗 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 介绍了硅硅直接键合(SDB)技术的反应机理、实现方法和技术优势,重点阐述了SDB技术在MEMS加速度计中的应用;通过初步测试,表明利用SDB技术制作的加速度计具有很好的稳定性.
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| 关 键 词： | 硅硅直接键合(SDB) 电感耦合等离子(ICP) MEMS 键合 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0434-03 |
| 修稿时间： | 2005年4月7日 |
Application of SDB Technique in a MEMS Accelerometer |
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| Lu Shuhai,Luo Rong,Yang Yongjun,Lü Miao.Application of SDB Technique in a MEMS Accelerometer[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):434-436. |
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| Authors: | Lu Shuhai Luo Rong Yang Yongjun Lü Miao |
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