| 基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制 |
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| 引用本文： | 郑晓虎,朱荻.基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制[J].中国机械工程,2007,18(18):2156-2159. |
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| 作者姓名： | 郑晓虎 朱荻 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学,南京,210016;淮阴工学院,淮安,223003
2. 南京航空航天大学,南京,210016 |
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| 摘 要： | 提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中,两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上,分别作为驱动元件与敏感元件。详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV-LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺。当激励电流为50kHz的正弦交流信号,而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时,敏感线圈的输出电压达30mV,并且间隙值在50μm范围内与输出电压接近为线性关系。传感器尺寸为5mm×1.6mm,易于集成,能实现对微位移的检测。
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| 关 键 词： | 微平面线圈 电涡流 电铸镍铁合金 |
| 文章编号： | 1004-132X（2007）18-2156-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-31 |
Implementation of Eddy Current Sensor Using UV-LIGA Technology |
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| Zheng Xiaohu,Zhu Di.Implementation of Eddy Current Sensor Using UV-LIGA Technology[J].China Mechanical Engineering,2007,18(18):2156-2159. |
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| Authors: | Zheng Xiaohu Zhu Di |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | UV-LIGA |
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