| 用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究 |
| |
| 引用本文： | 陈爽,朱名铨,邓进军,马炳和,姜澄宇.用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究[J].中国机械工程,2005,16(Z1):148-150. |
| |
| 作者姓名： | 陈爽 朱名铨 邓进军 马炳和 姜澄宇 |
| |
| 作者单位： | 西北工业大学,西安,710072 |
| |
| 摘 要： | 基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究.设计的微型压力传感器阵列可有效满足边界层分离点的检测要求,进一步拓展了MEMS器件的工程应用范围.
|
| 关 键 词： | 分离点 表面压力分布 微型压力传感器阵列 柔性衬底 背引线 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0148-03 |
| 修稿时间： | 2005年4月10日 |
Micro Pressure Sensor Array Used to Detect Boundary-Layer Separation Point |
| |
| Chen Shuang,Zhu Mingquan,Deng Jinjun,Ma Binghe,Jiang Chengyu.Micro Pressure Sensor Array Used to Detect Boundary-Layer Separation Point[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):148-150. |
| |
| Authors: | Chen Shuang Zhu Mingquan Deng Jinjun Ma Binghe Jiang Chengyu |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
