| 微流量系统的基础技术研究 |
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| 引用本文： | 周兆英,叶雄英,李勇,杨岳,熊沈蜀,王晓浩,张文栋,才海男,龚秋莲.微流量系统的基础技术研究[J].中国机械工程,1999,10(9):991-993. |
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| 作者姓名： | 周兆英 叶雄英 李勇 杨岳 熊沈蜀 王晓浩 张文栋 才海男 龚秋莲 |
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| 作者单位： | 清华大学,北京市,100084 |
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| 摘 要： | 介绍了国家自然科学基金重点资助项目”微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果，并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点，微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微光机电系统技术刚走向全面发展，正是我国发展该领域的好时机。
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| 关 键 词： | 微型机电系统 微流量系统 微型泵 尺寸效应 |
Research on the Fundamental Technologies of Micro Fluidic Systems |
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| Zhou Zhaoying,Ye Xionying,Li Yong,Yang Yue,Xion Shenshu,Wang Xiaohao,Zhang Wendong,Cai Hainan,Gong Qiulian.Research on the Fundamental Technologies of Micro Fluidic Systems[J].China Mechanical Engineering,1999,10(9):991-993. |
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| Authors: | Zhou Zhaoying Ye Xionying Li Yong Yang Yue Xion Shenshu Wang Xiaohao Zhang Wendong Cai Hainan Gong Qiulian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microelectromechanical systems(MEMS) micro fluidic systems micropump scaling |
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