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金属的生物去除加工法
引用本文:孟珺遐,王西彬. 金属的生物去除加工法[J]. 新技术新工艺, 2003, 0(5): 39-41
作者姓名:孟珺遐  王西彬
作者单位:北京理工大学机械与车辆学院,100081
基金项目:兵器预研支撑基金资助(BZJ050702)
摘    要:生物去除法是利用微生物代谢过程中一些复杂的生物化学反应达到去除多余材料,加工出其他微细加工方法不能加工的微小零件。阐述了尝试用一种铁氧化细菌——氧化亚铁硫杆菌作为生物氧化剂,刻蚀以铜及铜合金为材料的基片表面得到精细图形或三维结构的原理和方法。总结了这种新型加工方法的优缺点,在提高加工精度和生物加工机理方面进行了更深入的研究。

关 键 词:微细加工 光刻 氧化亚铁硫杆菌 生物刻蚀 金属 微型机械

A Method of Removing Metal by Biomachining
Abstract:
Keywords:
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