| Fe/Si3N4复合多层膜的制备及其电磁性能 |
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| 引用本文： | 杨长胜,程海峰,李永清.Fe/Si3N4复合多层膜的制备及其电磁性能[J].新技术新工艺,2005(4):52-53. |
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| 作者姓名： | 杨长胜 程海峰 李永清 |
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| 作者单位： | 国防科技大学新型陶瓷纤维及复合材料国防科技重点实验室,410073 |
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| 基金项目： | 新型陶瓷纤维及复合材料国防科技重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 多层膜结构隐身材料因其特有的结构具有非常好的吸波性能，在隐身领域有很大的应用前景。用磁控溅射方法制备了Fe／Si3N4复合多层膜，利用SEM分析了其微观形貌，测试了其电磁参数，然后与传统吸波材料羰基铁粉比较了低频下的电磁参数。结果表明，Fe／Si3N4复合多层膜的低频吸波性能优越。
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| 关 键 词： | Si3N4 电磁性能 复合 Fe 制备 吸波性能 电磁参数 多层膜结构 SEM分析 隐身材料 磁控溅射 微观形貌 羰基铁粉 吸波材料 低频 |
Fabrication and Electromagnetic Performance of Fe/Si3N4 Multilayers |
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