Mn-Co-Ni红外探测器As-Se光学薄膜制备及性能研究

采用真空热蒸发方法,在Ge基底上沉积As-Se光学薄膜(下述简称薄膜),考察薄膜中As含量对于薄膜软化点、14~16μm红外波段折射率及透射率的影响。通过XRF分析薄膜组成,并通过DTA及维卡法分析薄膜软化点,利用PE Spectrum100型红外光谱议,分析薄膜在14~16μm波段的透射率,利用红外干涉仪分析折射率。结果表明,As-Se薄膜制备过程中的元素损失较小,薄膜软化点随薄膜As含量不断升高,薄膜在14和16μm波段的折射率随As含量增大而增加,透射率随As含量增大而减小,中心波段透射率超过55%。