用激光散射法测量亚毫米范围内的表面粗糙度

本文介绍一种在亚毫米范围内测量表面粗糙度的新技术。该测量技术以一个粗糙表面发出的激光散射为基础，以激光二极管作为光源的远心光路系统可以记录一个粗糙物体表面的散射先场。与表面粗糙度相关的散射带的光强分布可以用线性光子二极管阵列来记录并用单芯片微型计算机进行分析处理。用不同机械加工方法加工的工件表面的测量方法有很多种，但鏊别表面粗糙度的方法我们只建议使用一种。