| 氮化硅陶瓷表面DLC膜的制备及摩擦性能研究 |
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| 引用本文： | 荆翠妮,古乐,张传伟,唐光泽,王黎钦.氮化硅陶瓷表面DLC膜的制备及摩擦性能研究[J].润滑与密封,2010,35(9). |
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| 作者姓名： | 荆翠妮 古乐 张传伟 唐光泽 王黎钦 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨,150001
2. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，国家973计划资助项目 |
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| 摘 要： | 利用等离子体基离子注入与沉积技术,在氮化硅陶瓷片表面制备200～400nm的类金刚石碳膜。测试薄膜的厚度、表面形貌、结构、膜基结合力,利用球盘试验机考察DLC膜的摩擦性能。结果表明:沉积薄膜均匀光滑;薄膜的硬度和弹性模量与基体差异较小,膜基结合力强;DLC膜具有较低的摩擦因数,抗磨性能优异。
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| 关 键 词： | DLC膜 制备工艺 摩擦性能 |
Preparation and Tribological Properties Research of DLC Film on the Surface of Si3N4 Ceramics |
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| Jing Cuini,Gu Le,Zhang Chuanwei,Tang Guangze,Wang Liqin.Preparation and Tribological Properties Research of DLC Film on the Surface of Si3N4 Ceramics[J].Lubrication Engineering,2010,35(9). |
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| Authors: | Jing Cuini Gu Le Zhang Chuanwei Tang Guangze Wang Liqin |
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