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类金刚石膜的性质及应用
引用本文:邓洁,覃礼钊,吴正龙. 类金刚石膜的性质及应用[J]. 现代科学仪器, 2007, 17(3): 101-103
作者姓名:邓洁  覃礼钊  吴正龙
作者单位:1. 北京师范大学,分析测试中心,北京,100875
2. 北京师范大学,材料科学与工程系,北京,100875
摘    要:介绍了类金刚石膜(Diamond—like Carbon films,DLC films)的结构、制备方法和发展现状。综述了DLC膜的机械、电子、光学和医学等性能以及在这些领域中的应用状况。

关 键 词:类金刚石膜  金刚石结构  DLC性能  DLC应用
收稿时间:2006-09-12
修稿时间:2006-09-12

Properties and Applications of Diamond-Like Carbon Films
Deng Jie,Qin Lizhao,Wu Zhenglong. Properties and Applications of Diamond-Like Carbon Films[J]. Modern Scientific Instruments, 2007, 17(3): 101-103
Authors:Deng Jie  Qin Lizhao  Wu Zhenglong
Affiliation:1.Analytical and Testing Center, Beijing Normal University, Beijing 100875, China;2. Material Science and Engineering Department, Beijing Normal University, Beijing 100875, China
Abstract:The structures,deposition methods,development and prospect of diamond-like carbon(DLC)films are introduced.Its properties and applications in the fields of machinery,electronics,optics and medicine are reviewed.
Keywords:DLC film   diamond structure  DLC properties   DLC applications
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