| 纳米硬度计及其在微机电系统中的应用 |
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| 引用本文： | 张泰华,杨业敏.纳米硬度计及其在微机电系统中的应用[J].现代科学仪器,2002(1):32-37. |
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| 作者姓名： | 张泰华 杨业敏 |
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| 作者单位： | 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (批准号 :1 0 1 0 2 0 2 1和 1 0 1 72 0 86) |
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| 摘 要： | 微机电系统（MEMS）技术的迅速崛起，推动了对其所用材料和结构的力学性能研究。本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的NanoInkdenterXP系统的配置、测量原理及功能。并根据我们的一些研究结果，说明它在微机电系统中的应用。
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| 关 键 词： | 纳米硬度计 微机电系统 纳米压痕 纳米划痕 |
| 修稿时间： | 2001年8月15日 |
Nano-hardness Tester and Its Application in MEMS |
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| Zhang Taihua,Yang Yemin.Nano-hardness Tester and Its Application in MEMS[J].Modern Scientific Instruments,2002(1):32-37. |
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| Authors: | Zhang Taihua Yang Yemin |
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| Abstract: | The rapid developments of Microelectromechanical systems (MEMS) make progress in the research on the mechanical properties of its materials and structures used. The paper is specially focused on introducing the developments and theories of nano hardness techniques, and the modules, measuring principles and functions of Nano Indenter XP system made in MTS. Finally, we discuss its application in MEMS according to our experimental results. |
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| Keywords: | MEMS nanoindentation nanotribology |
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