|
|||||
|
|
| 微流控分析芯片的加工技术 | |
| 引用本文： | 殷学锋,方群,凌云扬.微流控分析芯片的加工技术[J].现代科学仪器,2001,387(4):10-14. |
| 作者姓名： | 殷学锋 方群 凌云扬 |
| 作者单位： | 殷学锋（浙江大学化学系微分析系统研究所杭州 310028） 方群（浙江大学化学系微分析系统研究所杭州 310028） 凌云扬（浙江大学化学系微分析系统研究所杭州 310028） |
| 摘 要： | 综述了微流控分析芯片的加工技术和材质性能.光刻和蚀刻技术常用于加工硅、玻璃和石英芯片.有机聚合物由于品种多、易加工,是代替玻璃和石英的芯片材料.本文总结和讨论了各种芯片材料和它们的加工方法,如光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、模塑法、软刻蚀、热压法、激光切蚀法、LIGA技术和键合技术.引用文献36篇. |
| 关 键 词： | 微流控分析芯片 微制备 光刻 蚀刻 软刻蚀 键合 |
| 修稿时间： | 2001年7月3日 |
Microfabrication Techniques for Production of Microfluidic Chi ps |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |