大口径超精密轮廓仪的设计及精度标定

介绍了自行研制的超精密轮廓仪,其最大测量口径为Φ1250mm,综合测量精度指标为±0.5μm。该轮廓仪采用柱坐标接触式测量方法,通过测量子午线方法实现对光学元件的轮廓度的评定,其精度适用于精磨粗抛阶段的检测。根据子午线理论方程分析了最小二乘原理轮廓度的评定理论,列出满足轮廓仪结构的测量路径,介绍了轮廓仪机械结构、测控和软件流程等相关内容,最后通过标准球对测量仪的综合使用精度进行标定。