三轴联动精密工作台设计与分析 |
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引用本文: | 倪受东,盛志刚,张敏.三轴联动精密工作台设计与分析[J].制造业自动化,2014(3). |
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作者姓名: | 倪受东 盛志刚 张敏 |
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作者单位: | 南京工业大学机械与动力工程学院; |
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摘 要: | 三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中载物的关键部件。工作平台采用多层式结构,以压电陶瓷直线电机作为驱动,由双对称滚珠直线导轨带动两托板在x、y两方向上微位移精密运动;以伺服电机和滚珠丝杠配合带动载物板在z方向上运动。研究影响工作台精度的主要原因,通过误差分析与测量建立了误差补偿模型。最终验证证明,通过误差补偿工作台达到了更高的定位精度,实现了平台设计的目标。
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关 键 词: | 精密工作台 压电陶瓷电机 分步对角线测量 误差补偿 |
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