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| 用零相位的方法检测微加速度计的谐振频率 | |
| 引用本文： | 高志宏,唐一科,周传德.用零相位的方法检测微加速度计的谐振频率[J].机械制造,2009,47(9):78-80. |
| 作者姓名： | 高志宏 唐一科 周传德 |
| 作者单位： | 1. 重庆大学机械工程学院,重庆,400044 2. 重庆大学机械工程学院,重庆,400044;重庆科技学院,重庆,401331 3. 重庆科技学院,重庆,401331 |
| 摘 要： | 介绍了谐振式微加速度计的工作原理。针对已设计好的谐振器样片结构，分析了微加速度计的驱动和检测原理。结合锁相环可以实现无相差的频率跟踪，提出了采用零相位差的方法来实现驱动信号动态跟踪谐振器的谐振频率，最后采用锁相环CD4046进行了硬件电路的设计。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 微机械加速度计 零相位 锁相环 |
Detection of Resonant Frequency of Micro Accelerometer with Zero Phase |
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| Gao Zhihong,Tang Yike,Zhou Chuande.Detection of Resonant Frequency of Micro Accelerometer with Zero Phase[J].Machinery,2009,47(9):78-80. | |
| Authors: | Gao Zhihong Tang Yike Zhou Chuande |
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| Keywords: | |
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