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| 晶圆热氮烘干系统的设计与研究 | |
| 引用本文： | 段成龙.晶圆热氮烘干系统的设计与研究[J].机械制造,2009,47(10):43-45. |
| 作者姓名： | 段成龙 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,101601 |
| 摘 要： | 设计并研制了一套用于晶圆表面干燥的烘干工艺系统，详细介绍了系统的工作原理及其结构组成。经过实验和用户使用证明，该系统能够满足半导体企业对晶圆表面的一般烘干要求。系统具有操作简便、价格低廉、占用空间少等特点 |
| 关 键 词： | 晶圆干燥 热氮烘干 干燥系统 |
Design and Research on Hot N2 Drying System for Wafer |
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| Duan Chenglong.Design and Research on Hot N2 Drying System for Wafer[J].Machinery,2009,47(10):43-45. | |
| Authors: | Duan Chenglong |
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| Keywords: | |
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