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| 步进扫描光刻机扫描运动轨迹规划及误差控制 | |
| 引用本文： | 穆海华,周云飞,周艳红.步进扫描光刻机扫描运动轨迹规划及误差控制[J].机械工程学报,2010,46(2). |
| 作者姓名： | 穆海华 周云飞 周艳红 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学数字装备与技术国家重点实验室,武汉,430074;华中科技大学计算机科学与技术学院,武汉,430074 2. 华中科技大学数字装备与技术国家重点实验室,武汉,430074 3. 华中科技大学计算机科学与技术学院,武汉,430074 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(507775088);;中国博士后科学基金(20080430971)资助项目 |
| 摘 要： | 研究一种步进扫描投影光刻机工作台扫描运动超精密轨迹规划算法及误差控制策略。在分析三阶扫描运动与步进运动轨迹规划异同点的基础上,提出三阶扫描运动轨迹规划算法。针对扫描运动精确性与严格同步性要求,分析扫描运动轨迹规划误差补偿的几个关键问题。根据扫描运动轨迹算法离散实现存在的误差,结合内部整数积分策略,提出扫描运动轨迹规划加减速段与扫描速度稳定段运动距离的离散积分策略误差控制方法。此外,为克服切换时间圆整引起的扫描曝光匀速段位置误差,提出一种基于常速扫描运动段位置修正因子的误差补偿方法。以上方法共同实现光刻机工作台扫描运动轨迹规划精度控制。实例证明提出算法是有效和精确的。该算法成功应用于100nm步进扫描投影光刻机工作台的超精密运动控制系统中。 |
| 关 键 词： | 扫描运动 轨迹规划 精度控制 离散积分 |
Trajectory Planning and Precision Control of Scan-move for Step-scan Lithography Stage |
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| MU Haihua,ZHOU Yunfei,ZHOU Yanhong.Trajectory Planning and Precision Control of Scan-move for Step-scan Lithography Stage[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2010,46(2). | |
| Authors: | MU Haihua ZHOU Yunfei ZHOU Yanhong |
| Affiliation: | 1. State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment & Technology/a>;Huazhong University of Science & Technology/a>;Wuhan 430074/a>;2. College of Computer Science & Technology/a>;Wuhan 430074 |
| Abstract: | A trajectory planning method and precision control strategies for scan-move of step-scan projection lithography are investigated. The difference of trajectory planning between step-move and scan-move is firstly discussed. Aiming at the requirements of accuracy and strict synchronization of scan-move,several key issues are analyzed. Considering the accuracy losses in discrete-time implementation of trajectory planning algorithm,the integration strategy in discrete-time domain of precision control of trajecto... |
| Keywords: | Scan-move Trajectory planning Precision control Discrete-time integration |
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