| 纳米尺度表面形貌测量的双图像拼接法 |
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| 引用本文： | 褚巍,赵学增,Joseph Fu.纳米尺度表面形貌测量的双图像拼接法[J].机械工程学报,2005,41(9):166-170. |
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| 作者姓名： | 褚巍 赵学增 Joseph Fu |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001;美国国家标准与技术研究院,马里兰州,20899,美国 |
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| 基金项目： | 中国留学生基金委员会资助项目，美国国家标准与技术研究院(NIST)资助项目。 |
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| 摘 要： | 与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径。然而,在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度,它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较精确的边墙数据,而另外一侧失真较大。提出一种双图像拼接方法,样本在经过一次测量以后被旋转180°,然后重新测量,分别保留两次测量中较好的一侧边墙测量数据,并把它们拼接成一幅更接近真实样本的图像。采用基于ICP算法的图像配准技术匹配两次测量图像,消除两次测量的位置偏差, 并应用双线性插值和最小二乘拟合方法对配准后的图像进行处理,计算得到更准确的线宽和边墙角等单刻线样本的特征尺寸值。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 碳纳米管 双图像拼接法 图像配准 |
| 修稿时间： | 2004年9月11日 |
DUAL IMAGE STITCHING METHOD USED IN NANO-SCALE SURFACE TOPOGRAPH MEASUREMENT |
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| Chu Wei,Zhao Xuezeng,Joseph Fu,Theodore V. Vorburger.DUAL IMAGE STITCHING METHOD USED IN NANO-SCALE SURFACE TOPOGRAPH MEASUREMENT[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2005,41(9):166-170. |
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| Authors: | Chu Wei Zhao Xuezeng Joseph Fu Theodore V Vorburger |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AFM Carbon nanotube Dual image stitching method Image registration |
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