光刻机工作台运动控制中的若干关键问题 |
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引用本文: | 滕伟,穆海华,周云飞.光刻机工作台运动控制中的若干关键问题[J].机械工程学报,2014(8). |
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作者姓名: | 滕伟 穆海华 周云飞 |
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作者单位: | 华北电力大学能源动力与机械工程学院;清华大学精密仪器与机械学系;华中科技大学机械科学与工程学院; |
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基金项目: | 国家自然科学基金(51305135);北京高校青年英才(YETP0701);中央高校基本科研业务费(12MS06)资助项目 |
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摘 要: | 100 nm步进扫描投影光刻机是我国攻关研究的主流机型,工作台是实现其超精密性能的核心子系统。光刻机工作台采用粗、微复合的运动结构,其同步最大运动平均误差(5 nm)和同步最大运动标准偏差(12 nm)等性能指标对运动控制系统提出严苛要求。分析硅片台与掩模台的结构特点,提出了运动控制系统中保证精度实现的组成单元,分别论述轨迹规划、测量系统、控制策略单元等的工作机理与实现特点;为进一步提高运动控制精度,分析工作台可能受到的扰动因素,提出相应的补偿控制策略,探讨运动控制中各环节的参数校准策略。综合论述步进扫描投影型光刻机工作台运动控制中的关键问题,并提出相应的实现与解决方法,可为实际光刻设备超高精度的实现提供指导。
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关 键 词: | 工作台 运动控制 关键问题 精度实现 |
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