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| 纳米金刚石薄膜的制备与应用 | |
| 引用本文： | 孙方宏,张志明,沈荷生,陈明,郭松寿.纳米金刚石薄膜的制备与应用[J].机械工程学报,2007,43(3):118-122. |
| 作者姓名： | 孙方宏 张志明 沈荷生 陈明 郭松寿 |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学机械与动力工程学院,上海,200030 2. 上海交通大学微纳米科学研究院,上海,200030 3. 上海交友钻石涂层有限公司,上海,200240 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 国家高技术研究计划发展专项经费 |
| 摘 要： | 采用偏压辅助增强热丝化学气相沉积法(Chemical vapor deposition,CVD),以WC-Co硬质合金为衬底,采用控制沉积参数和添加惰性气体Ar等CVD新工艺,制备性能优良的纳米金刚石薄膜.进一步采用扫描电镜(Scanning electron microscopy,SEM)、原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)、拉曼光谱(Raman spectroscopy)、X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)和高分辨率透射电镜(High-resolution transmission electron microscopy,HR-TEM)分析了薄膜的纳米效应.研究结果表明:纳米涂层仍然是以金刚石结构为主的多晶体,它晶体颗粒较小(20～80 nm),含有较多的晶界和sp2结构,涂层表面粗糙度Ra≤50 nm,表面平整光滑,有利于研磨抛光.在此基础上,提出纳米金刚石复合涂层制备新技术,开发研制出各种涂层拉拔模具,在实际生产线上进行了应用,取得了显著的效果. |
| 关 键 词： | 纳米金刚石薄膜 硬质合金 表面粗糙度 复合涂层 纳米涂层 金刚石薄膜 制备与应用 DIAMOND FILMS NANOCRYSTALLINE APPLICATION 效果 生产线 拉拔模具 开发 制备新技术 金刚石复合涂层 研磨抛光 表面粗糙度 金刚石结构 晶界 晶体颗粒 多晶体 结果 研究 |
| 修稿时间： | 2006年3月11日 |
FABRICATION AND APPLICATION OF NANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS |
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| SUN Fanghong,ZHANG Zhiming,SHEN Hesheng,CHEN Ming,GUO Songshou.FABRICATION AND APPLICATION OF NANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2007,43(3):118-122. | |
| Authors: | SUN Fanghong ZHANG Zhiming SHEN Hesheng CHEN Ming GUO Songshou |
| Abstract: | |
| Keywords: | Nanocrystalline diamond films Cemented tungsten carbide Surface roughness Composite coatings |
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