静电梳微谐振子蟹脚型结构的振动特性

运用梁的理论讨论了静电梳微谐振子常见结构－蟹脚型结构的振动特性，推导出计算蟹型结构谐振频率的计算公式，分析各几何参量对结构谐振频率的影响，并和静电梳微谐振子的另一种常见结构－直脚型结构的振动特性进行了比较，得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有设计具有指导意义。