| 激光干涉仪的应用——激光干涉仪技术综述之五 |
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| 引用本文： | 羡一民.激光干涉仪的应用——激光干涉仪技术综述之五[J].工具技术,2015(2):79-85. |
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| 作者姓名： | 羡一民 |
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| 作者单位： | 成都工具研究所有限公司 |
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| 摘 要： | 激光干涉仪具有测量范围大、精度高等特点,在各个领域得到广泛应用。本文介绍了激光干涉仪在数控机床检测、纳米测量、激光跟踪仪等方面的具体应用。
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| 关 键 词： | 激光干涉仪 激光跟踪仪 纳米计量 机床检测 |
Applications of Laser Interferometer |
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| Xian Yimin.Applications of Laser Interferometer[J].Tool Engineering(The Magazine for Cutting & Measuring Engineering),2015(2):79-85. |
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| Authors: | Xian Yimin |
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| Affiliation: | Xian Yimin;Chengdu Tool Research Institute Co.,LTD; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser interferometer laseretracker nano-mearsurement machine tool detection |
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